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J-GLOBAL ID：200903016101264679

複合加工機

Inventor： 小槫 利春
Applicant, Patent owner： セイコー精機株式会社
Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993118808
Publication number (International publication number)：1994328352
Application date： May. 20, 1993
Publication date： Nov. 29, 1994
Summary：

【要約】【目的】 金属材料から脆性材料までの加工を、加工変質層が少なく、かつ、形状精度よく行う。【構成】 ワーク11は工作物主軸13により回転し、その表面に加工液ノズル21によって低濃度の加工液21aが供給される。この加工液21aが供給されたワーク11表面には、ワーク11の半径幅の短波長レーザ18aがレーザ発振器17及びレーザ光学系18によって照射され、反応生成物が生成される。カップ砥石15は、砥石軸16によって回転されると共に、この砥石軸16が、移動テーブル19及びテーブル駆動モータ20によって矢印f方向に、反応生成物の成長速度に合わせた速度で移動されることより、ワーク11表面に対して押圧され、反応生成物を研削する。

Claim (excerpt)：

ワークを保持する保持手段と、このワーク表面に低濃度の加工液を供給する加工液供給手段と、前記ワーク表面に短波長レーザを照射するレーザ照射手段と、前記短波長レーザの照射により前記ワーク表面に生成される反応生成物をその生成物成長速度にあわせて加工する表面加工手段とを具備することを特徴とする複合加工機。

IPC (5)：

B24B 1/00 ,  B23K 26/00 ,  B23P 23/04 ,  B24B 7/22 ,  H01L 21/304 321

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭61-076260
  
• 特開昭61-214969
  
• 特開昭59-214550