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J-GLOBAL ID：200903016110169140

電子ビーム露光の制御方法および装置

Inventor： 渡辺 義雄 ,  石田 和司 ,  諏佐 昌彦
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 高橋 敬四郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992060165
Publication number (International publication number)：1993267141
Application date： Mar. 17, 1992
Publication date： Oct. 15, 1993
Summary：

【要約】【目的】 連続移動型電子ビーム露光技術に関し、ロードロックチェンバの機構類の動作のための時間ロスを減少し、電子ビーム露光のスループットを向上させることのできる電子ビーム露光の制御方法を提供することを目的とする。【構成】 露光対象物の露光対象領域を複数の帯状領域に分割し、露光対象物を移動させながら各帯状領域の露光を行なう電子ビーム露光の制御方法であって、電子ビーム露光装置に備えられた機構部で機構類を作動させる必要が生じた時、その旨を通知する工程(S1)と、前記通知に基づき、電子ビーム中心位置が露光対象物の非露光領域を通過する速度分布を設定する工程(S2、S3)と、前記非露光領域を前記設定速度分布で通過させつつ、前記機構類を作動させる工程(S4、S5)と、前記露光対象物の露光領域で露光を再開する工程(S6)とを含む。

Claim (excerpt)：

露光対象物の露光対象領域を複数の帯状領域に分割し、露光対象物を移動させながら各帯状領域の露光を行なう電子ビーム露光の制御方法であって、電子ビーム露光装置に備えられた機構部で機構類を作動させる必要が生じた時、その旨を通知する工程(S1)と、前記通知に基づき、電子ビーム中心位置が露光対象物の非露光領域を通過する速度分布を設定する工程(S2、S3)と、前記非露光領域を前記設定速度分布で通過させつつ、前記機構類を作動させる工程(S4、S5)と、前記露光対象物の露光領域で露光を再開する工程(S6)とを含む電子ビーム露光の制御方法。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 521

FI (2)：

H01L 21/30 341 D ,  H01L 21/30 341 J