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J-GLOBAL ID：200903016141943587

フィルタ性能評価装置

Inventor： 岡 隆司 ,  下田 潔 ,  栗林 卓 ,  海上 修一 ,  丹羽 明 ,  金子 雄三
Applicant, Patent owner： 日立プラント建設株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998082953
Publication number (International publication number)：1999253731
Application date： Mar. 13, 1998
Publication date： Sep. 21, 1999
Summary：

【要約】【課題】正確に評価でき、且つ簡素な機構を持つフィルタ性能評価装置を提供すること。【解決手段】水平に設置された枠体12に、Yロッド26AをX軸方向に移動自在に設置し、Xロッド26BをY軸方向に移動自在に設置する。Yロッド26AとXロッド26Bの交差位置に、センサー14を取り付ける移動駒28をYロッド26AとXロッド26Bに摺動自在に設置する。センサー14は、Yロッド26AをXロッド26Bを動かすことにより移動する。

Claim (excerpt)：

クリーンルームの天井面に設置されてクリーンルームにエアを吹き出すフィルタユニットのフィルタ性能評価装置において、前記フィルタユニットから吹き出されたエアの流量、塵埃濃度等のフィルタ性能を測定するセンサーと、前記フィルタユニットのエア吹出面と平行な水平面を画成する枠体と、前記枠体で画成された水平面内で前記センサーを移動させる面内移動手段と、前記枠体を昇降させる昇降手段と、前記センサーの測定値に基づいて前記フィルタ性能を評価する評価手段と、前記面内移動手段と前記評価手段とが搭載された台車と、から成ることを特徴とするフィルタ性能評価装置。

IPC (3)：

B01D 46/42 ,  B01D 46/00 ,  F24F 7/06

FI (3)：

B01D 46/42 Z ,  B01D 46/00 Z ,  F24F 7/06 C

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

• 特開昭59-010831
  
• 特開平1-164414
  
• 特開昭63-153415
  
• 特開平4-077646
  

Cited by examiner (4)

• 特開昭59-010831
  
• 特開昭59-010831
  
• 特開平1-164414
  
• 特開昭63-153415