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J-GLOBAL ID：200903016160186983

高純度アルミナセラミックス及びその製造方法

Inventor： 島井 駿蔵 ,  五十嵐 昇 ,  森田 敬司 ,  永坂 幸行 ,  原田 晴司 ,  安藤 和
Applicant, Patent owner： 東芝セラミックス株式会社
Agent (1)： 赤野 牧子 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992327529
Publication number (International publication number)：1994157132
Application date： Nov. 13, 1992
Publication date： Jun. 03, 1994
Summary：

【要約】【目的】 不純物含有量が極めて低減され、半導体製造装置用部材に好適に用いることが可能な高純度アルミナセラミックス及びその製造方法の提供。【構成】 マグネシア含有量が100ppm以下で、且つ、アルカリ金属酸化物含有量が50ppm以下であることを特徴とする高純度アルミナセラミックス。

Claim (excerpt)：

マグネシア含有量が100ppm以下で、且つ、アルカリ金属酸化物含有量が50ppm以下であることを特徴とする高純度アルミナセラミックス。