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J-GLOBAL ID：200903016164922854
搬送フォーク
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996080683
Publication number (International publication number)：1997246353
Application date： Mar. 08, 1996
Publication date： Sep. 19, 1997
Summary：
【要約】【課題】 搬送フォークのパッドの摩擦力を長時間保持し、ウェハ搬送ロボットにおける搬送フォークの交換の頻度を少なくする。【解決手段】 ウェハを載置して搬送する搬送フォークにおいて、前記搬送フォーク1のウェハを載置する面に設けた溝2と、この溝2に回転しうるように取付け外周に凹部5を有するローラ4と、このローラ4の凹部5に取付けたリングパッド6とを設けるようにしている。
Claim (excerpt)：
ウェハを載置して搬送する搬送フォークにおいて、前記搬送フォークのウェハを載置する面に設けた溝と、この溝に回転しうるように取付け外周に凹部を有するローラと、前記ローラの凹部に取付けたリングパッドとを設けたことを特徴とする搬送フォーク。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L 21/68 A
, B65G 49/07 E
