Pat
J-GLOBAL ID：200903016189192842
位置検出装置及びそれを用いた位置検出方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
奥山 尚男 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998111762
Publication number (International publication number)：1999304405
Application date： Apr. 22, 1998
Publication date： Nov. 05, 1999
Summary：
【要約】【課題】 簡単な構成で安価なものでありながら、マークの位置を外乱の影響を受けずに高精度で検出することができ、しかもマークの1次元位置検出,2次元位置検出並びに3次元位置検出の全てを必要に応じて適宜に行なうことができるような位置検出装置及びそれを用いた位置検出方法を提供する。【解決手段】 等方性を有するセンサであってかつ互いに同じ若しくは類似の特性をもつ複数個のセンサ(例えば、渦電流検出センサ10a〜10d)を立体的に並べて配置した位置検出装置(センサユニット1)を用いる。
Claim (excerpt)：
等方性を有するセンサであってかつ互いに同じ若しくは類似の特性をもつ複数個のセンサを立体的に並べて配置したことを特徴とする位置検出装置。
IPC (2)：
FI (3)：
G01B 7/00 P
, G05D 1/02 J
, G05D 1/02 A
