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J-GLOBAL ID：200903016203883896

X線像撮像装置及びその製造方法

Inventor：
宮口 和久

About 宮口 和久

, 
佐藤 宏人

About 佐藤 宏人


Applicant, Patent owner：
浜松ホトニクス株式会社

About 浜松ホトニクス株式会社


Agent (1)： 長谷川 芳樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001373156
Publication number (International publication number)：2003172782
Application date： Dec. 06, 2001
Publication date： Jun. 20, 2003
Summary：
【要約】【課題】 ファイバオプティカルプレートを用いない構成を採用した場合においても、製造工程が煩雑となることなく、X線像撮像装置の小型化を図ることが可能なX線像撮像装置を提供すること。【解決手段】 X線遮蔽部材21は、CCDチップ3のX線入射方向前方に配設され、基台2に接着固定されている。X線遮蔽部材21には、CCDチップ3の受光部5に対応する位置に、この受光部5に向けてX線を入射させるための開口部22が設けられている。開口部22は、CCDチップ3の受光部5の外側領域、ボンディングワイヤ16、及び電極パッド14のX線入射方向前方に位置する部分よりも内側に形成されている。シンチレータ31は、X線遮蔽部材21がCCDチップ3のX線入射方向前方に配設された状態で、受光部5の表面上に成長、形成されている。シンチレータ31の表面には、保護膜32がコーティングされている。
Claim (excerpt)：
受光部を有する固体撮像素子と、前記固体撮像素子のX線入射方向前方に配設され、前記受光部に対応する位置に開口部が設けられているX線遮蔽部材と、前記X線遮蔽部材が前記固体撮像素子のX線入射方向前方に配設された状態で、前記受光部表面上に成長されたシンチレータと、を備えていることを特徴とするX線像撮像装置。
IPC (5)：
G01T 1/20 ,  G01T 7/00 ,  H01L 27/14 ,  H01L 31/09 ,  H04N 5/32
FI (7)：
G01T 1/20 E ,  G01T 1/20 G ,  G01T 7/00 B ,  H04N 5/32 ,  H01L 27/14 K ,  H01L 27/14 D ,  H01L 31/00 A
F-Term (50)：
2G088EE01 ,  2G088FF02 ,  2G088GG19 ,  2G088GG20 ,  2G088JJ05 ,  2G088JJ10 ,  2G088JJ12 ,  2G088JJ29 ,  2G088JJ37 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA05 ,  4M118BA12 ,  4M118BA14 ,  4M118CA08 ,  4M118CA32 ,  4M118CB06 ,  4M118CB11 ,  4M118CB14 ,  4M118EA01 ,  4M118FA06 ,  4M118FB13 ,  4M118GA10 ,  4M118GB01 ,  4M118GB09 ,  4M118GD15 ,  4M118HA14 ,  4M118HA17 ,  4M118HA24 ,  4M118HA30 ,  4M118HA31 ,  4M118HA36 ,  5C024AX11 ,  5C024CY47 ,  5C024CY48 ,  5C024EX21 ,  5C024EX22 ,  5C024EX25 ,  5F088AA01 ,  5F088BA15 ,  5F088BA16 ,  5F088BA18 ,  5F088BB03 ,  5F088BB07 ,  5F088EA04 ,  5F088HA15 ,  5F088JA03 ,  5F088JA10 ,  5F088JA16 ,  5F088LA08
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)
  • 放射線検出器
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-148294   Applicant：浜松ホトニクス株式会社
  • X線パネルセンサ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-199170   Applicant：浜松ホトニクス株式会社
Cited by examiner (2)
  • 放射線検出器
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-148294   Applicant：浜松ホトニクス株式会社
  • X線パネルセンサ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-199170   Applicant：浜松ホトニクス株式会社

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