Pat
J-GLOBAL ID：200903016207309116
インピーダンス自動整合装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
松本 英俊
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991218741
Publication number (International publication number)：1993063604
Application date： Aug. 29, 1991
Publication date： Mar. 12, 1993
Summary：
【要約】【目的】インピーダンス整合回路の可変インピーダンス素子を最短距離で整合点に合わせることができるようにする。【構成】インピーダンス整合回路3の入力インピーダンスZ1 と、整合回路3の出力端から負荷側を見た負荷回路側インピーダンスZ2 とを演算する。更に可変インピーダンス素子の調節部の位置から可変インピーダンス素子のインピーダンスを演算し、可変インピーダンス素子のインピーダンスと入力インピーダンスと負荷回路側インピーダンスとから、整合回路3の入力インピーダンスを電源側のインピーダンスに等しくする可変インピーダンス素子の調節部の位置を目標位置として演算する。可変インピーダンス素子の調節部の位置を目標位置に一致させるように、可変インピーダンス素子調節用のモータMを制御する。
Claim (excerpt)：
複数の可変インピーダンス素子を備えたインピーダンス整合回路を高周波電源と負荷との間に挿入し、各可変インピーダンス素子の調節部を操作するモータを制御することにより高周波電源と負荷との間のインピーダンスを整合させるインピーダンス自動整合装置であって、前記インピーダンス整合回路の入力側での高周波電流の絶対値を検出する入力電流検出手段と、前記インピーダンス整合回路の入力側での高周波電圧の絶対値を検出する入力電圧検出手段と、前記インピーダンス整合回路の入力側での高周波電流と高周波電圧との位相差を検出する位相差検出手段と、前記インピーダンス整合回路の入力側での高周波電流の絶対値と高周波電圧の絶対値と前記位相差とから、前記インピーダンス整合回路の入力インピーダンスZ1 を演算する入力インピーダンス演算手段と、前記各可変インピーダンス素子の調節部の位置を検出する調節部位置検出手段と、前記調節部位置検出手段により検出された調節部の位置から各可変インピーダンス素子のインピーダンスを演算する可変インピーダンス演算手段と、前記入力インピーダンスと前記可変インピーダンス演算手段により演算された各可変インピーダンス素子のインピーダンスとその他の回路定数とを用いて前記インピーダンス整合回路の可変インピーダンス素子が設けられた部分よりも負荷側のインピーダンスZまたは該インピーダンス整合回路の出力端より負荷側のインピーダンスZ2 を負荷回路側インピーダンスとして演算する負荷回路側インピーダンス演算手段と、前記負荷回路側インピーダンスに対してインピーダンス整合回路の入力インピーダンスを電源側のインピーダンスに等しくする各可変インピーダンス素子の調節部の位置を目標位置として演算する調節部目標位置演算手段と、前記各可変インピーダンス素子の調節部の現在位置を目標位置に一致させるように各可変インピーダンス素子の調節部を操作するモータを制御する調節部位置制御手段とを備えたことを特徴とするインピーダンス自動整合装置。
IPC (3)：
H04B 3/02
, G01R 27/00
, H03H 7/40
