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J-GLOBAL ID:200903016221884034
チタン酸ランタンビスマス形成用前駆体溶液組成物
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
葛和 清司
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000311869
Publication number (International publication number):2002121025
Application date: Oct. 12, 2000
Publication date: Apr. 23, 2002
Summary:
【要約】【課題】 良好な強誘電性を示すチタン酸ランタンビスマス膜を、実用的で安価に形成できる薄膜形成用前駆体溶液組成物を提供する。【解決手段】 下記一般式(1)で表わされる化合物及び一般式(2)で表される化合物:NH3-n(C2H4OH)n (1)(式中nは2又は3を表わす)NH2(C2H4NH)mH (2)(式中mは2又は3を表わす)からなる群から選択される1又は2種以上の化合物とビスマス化合物、チタン化合物、ランタン化合物および有機溶剤を含有することを特徴とするチタン酸ランタンビスマス形成用前駆体溶液組成物を得る。
Claim (excerpt):
下記一般式(1)で表わされる化合物及び一般式(2)で表される化合物:NH3-n(C2H4OH)n (1)(式中nは2又は3を表わす)NH2(C2H4NH)mH (2)(式中mは2又は3を表わす)からなる群から選択される1又は2種以上の化合物とビスマス化合物、チタン化合物、ランタン化合物および有機溶剤を含有することを特徴とするチタン酸ランタンビスマス形成用前駆体溶液組成物。
IPC (3):
C01G 29/00
, H01L 27/105
, H01L 41/24
FI (3):
C01G 29/00
, H01L 27/10 444 C
, H01L 41/22 A
F-Term (8):
4G048AA02
, 4G048AC01
, 4G048AC02
, 4G048AC08
, 5F083JA17
, 5F083JA38
, 5F083JA39
, 5F083PR34
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