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J-GLOBAL ID：200903016226438946

研磨装置

Inventor： 井上 大充男
Applicant, Patent owner： タミックス株式会社
Agent (1)： 大西 孝治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993136899
Publication number (International publication number)：1994320412
Application date： May. 14, 1993
Publication date： Nov. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】 主軸21の回転運動と上下運動とにより精密研磨を行う研磨装置において、研磨精度を高める。【構成】 ハウジング20の外にバイブレータ38,45を設ける。バイブレータ38,45は、ハウジング20内の主軸21に上下動を与え、且つ、主軸21の回転に拘束されずに主軸21の上下動の周期および移動量を調節する。

Claim (excerpt)：

垂直方向の筒体からなり、その軸方向に往復駆動されるハウジングと、該ハウジング内に回転自在に且つ軸方向に移動可能に支持され、下方に研磨工具を保持すると共に、下方へスプリングにより付勢された主軸と、主軸を中心軸回りに回転させる主軸回転用モータと、主軸の下方にあって被研磨材を保持し、その被研磨材を回転させるチャックと、主軸から側方に延出し、主軸と共に上下動し且つ主軸と共に回転しないように基端部が主軸に連結されたアームと、ハウジングに外付けされ、ハウジング内の主軸から側方に延出したアームの先端部を上方へ周期的に移動させ、その移動周期および移動量を調節できる外付けバイブレータとを具備することを特徴とする研磨装置。

IPC (2)：

B24B 35/00 ,  B24B 33/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭64-078755
  
• 特開昭62-236668