Pat

J-GLOBAL ID：200903016228723290

多層膜厚さ基準物

Inventor： 高田 純 ,  淡路 弘 ,  越岡 雅則 ,  太和田 善久
Applicant, Patent owner： 鐘淵化学工業株式会社
Agent (1)： 内田 敏彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992200085
Publication number (International publication number)：1994218870
Application date： Jun. 16, 1992
Publication date： Aug. 09, 1994
Summary：

【要約】【目的】 ナノメータオーダの厚さ基準物を提供し、原子間力顕微鏡(AFM)等の物質表面形状を観察する際の厚さ基準物とする。【構成】 表面の凹凸が50Å以下で平坦な基板2上に有機層3と無機層4とをそれぞれ2〜200Åで交互に周期的に積層し、部分的に基板界面から剥離したものを多層膜厚さ基準物5とする。

Claim (excerpt)：

平坦な基板上に有機層と無機層とをそれぞれ2〜200Åで交互に周期的に積層し、部分的に基板界面から剥離された箇所のあることを特徴とする多層膜厚さ基準物。

IPC (2)：

B32B 9/00 ,  G01B 21/30