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J-GLOBAL ID：200903016229387137

光波干渉測定装置

Inventor： 川上 潤 ,  河井 斉 ,  月原 浩一 ,  石田 明
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 三品 岩男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995066469
Publication number (International publication number)：1996226802
Application date： Mar. 24, 1995
Publication date： Sep. 03, 1996
Summary：

【要約】【目的】局所的な屈折率変動が発生している場合であっても、屈折率変動に伴う測長誤差を正確に補正できる屈折率変動測定手段を備えた測長器を提供する。【構成】周波数ω1の第1の光を用いて、測定対象の変位D(ω1)を検出する。周波数ω2の第2の光および周波数ω3の第3の光を用いて{D(ω3)-D(ω2)}を検出する。検出結果D(ω1)と{D(ω3)-D(ω2)}と数1とを用いて、測定対象の真の変位Dを求める。但し、Fは光の周波数に依存する予めもとめた関数である。【数1】

Claim (excerpt)：

周波数ω1の第1の光を用いて、測定対象の変位D(ω1)を検出する手段と、周波数ω1とは周波数の異なる、周波数ω2の第2の光および周波数ω3の第3の光を用いて、第3の光で検出した場合の前記測定対象の変位に相当するD(ω3)と、第2の光で検出した場合の前記測定対象の変位に相当するD(ω2)とで表される差{D(ω3)-D(ω2)}を検出する手段と、前記検出結果D(ω1)と{D(ω3)-D(ω2)}と数1とを用いて、測定対象の真の変位Dを求める手段とを有することを特徴とする光波干渉測定装置。【数1】(但し、Fは、光の周波数に依存するあらかじめ求めた関数である。)

IPC (2)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/02

FI (2)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/02 G