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J-GLOBAL ID：200903016230004047

熱処理用ホットプレート

Inventor： 菊地 誠
Applicant, Patent owner： 日立化成工業株式会社
Agent (1)： 若林 邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992036131
Publication number (International publication number)：1993235143
Application date： Feb. 24, 1992
Publication date： Sep. 10, 1993
Summary：

【要約】【目的】 高純度で高い寸法精度を有し、耐熱変形性に優れた半導体基板の搬送装置に用いられる熱処理用ホットプレートを提供する。【構成】 所望の形状に加工した黒鉛材の表面に、高純度のガラス状炭素を被覆してなる基板搬送装置の熱処理用ホットプレート1。

Claim (excerpt)：

所望の形状に加工した黒鉛材の表面に、高純度のガラス状炭素を被覆してなる基板搬送装置の熱処理用ホットプレート。