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J-GLOBAL ID:200903016231205542

透過型電子顕微鏡の撮影装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999107443
Publication number (International publication number):2000299077
Application date: Apr. 15, 1999
Publication date: Oct. 24, 2000
Summary:
【要約】【課題】 電子顕微鏡像のフイルム撮影における撮影条件を、TVカメラによるTEM像と同時に自動的に記録保存することのできる電子顕微鏡の撮影装置を提供すること。【解決手段】試料を透過した電子線による試料像をフイルム撮影する第1の撮影手段と、電子線通路にテレビカメラを配置して撮影した試料像の像データを撮影条件と共に記録する第2の撮影手段と、撮影を指令する指令手段とを備え、該撮影指令手段により撮影が指令されると、前記第1の撮影手段による撮影と第2の撮影手段による撮影を前後してそれぞれ行うと共に、前記第2の撮影手段による撮影の際に前後して行われる第1の撮影手段による撮影に関する識別情報を併せて記録するようにしたことを特徴とする。
Claim (excerpt):
試料を透過した電子線による試料像をフイルム撮影する第1の撮影手段と、電子線通路にテレビカメラを配置して撮影した試料像の像データを撮影条件と共に記録する第2の撮影手段と、撮影を指令する指令手段とを備え、該撮影指令手段により撮影が指令されると、前記第1の撮影手段による撮影と第2の撮影手段による撮影を前後してそれぞれ行うと共に、前記第2の撮影手段による撮影の際に前後して行われる第1の撮影手段による撮影に関する識別情報を併せて記録するようにしたことを特徴とする透過型電子顕微鏡の撮影装置。
IPC (2):
H01J 37/22 501 ,  H01J 37/22
FI (2):
H01J 37/22 501 D ,  H01J 37/22 501 C

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