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J-GLOBAL ID：200903016237958054
感光性組成物
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中村 稔 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991147603
Publication number (International publication number)：1993027424
Application date： Jun. 19, 1991
Publication date： Feb. 05, 1993
Summary：
【要約】 (修正有)【構成】 ジアゾニウム化合物及び高分子化合物を含有するネガ型感光性組成物において、該高分子化合物が下記一般式(I)で表わされる構成単位を有する重合体であることを特徴とする感光性組成物: -(CH2-C(R1) (X-R2-Y)) - (I)〔式中、R1 は水素原子またはメチル基を示し、X は単結合、エステル結合またはアミド結合を示し、R2 は単結合またはC,H,N,O,Sより選ばれた2種以上の原子よりなる2価の連結基を示し、Y は下記一般式(II) で示される構成単位を含み、重量平均分子量が500以上の重合体成分を示す。 -(CH2-C(R3)(R4-Z)) - (II)(式中、R3 は水素原子またはメチル基を示し、R4 は単結合またはC,H,N,O,Sより選ばれた2種以上の原子よりなる2価の連結基を示し、Z は、-COOH,等を示す。)]【効果】 短い露光時間でも十分な画像形成のできる高感度なネガ型感光性組成物が提供される。
Claim (excerpt)：
ジアゾニウム化合物及び高分子化合物を含有するネガ型感光性組成物において、該高分子化合物が下記一般式(I)で表わされる構成単位を有する重合体であることを特徴とする感光性組成物: -(CH2-C(R1) (X-R2-Y)) - (I)〔式中、R1 は水素原子またはメチル基を示し、X は単結合、エステル結合またはアミド結合を示し、R2 は単結合またはC,H,N,O,Sより選ばれた2種以上の原子よりなる2価の連結基を示し、Y は下記一般式(II) で示される構成単位を含み、重量平均分子量が500以上の重合体成分を示す。 -(CH2-C(R3)(R4-Z)) - (II)(式中、R3 は水素原子またはメチル基を示し、R4 は単結合またはC,H,N,O,Sより選ばれた2種以上の原子よりなる2価の連結基を示し、Z は、-COOH,【化1】-SO3H, -CONHSO2R7 のいずれかを示し、R5 ,R6 はそれぞれ水素原子または置換基を有していてもよいC1 〜C15の炭化水素基を示し、R7 は置換基を有していてもよいC1 〜C15の炭化水素基を示す。)〕。
IPC (5)：
G03F 7/021
, G03F 7/00 503
, G03F 7/027
, G03F 7/038 505
, H01L 21/027
Cited by examiner (8)
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