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J-GLOBAL ID：200903016257593877
走査型トンネル顕微鏡
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
梅田 勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993194388
Publication number (International publication number)：1995049352
Application date： Aug. 05, 1993
Publication date： Feb. 21, 1995
Summary：
【要約】【構成】 走査型トンネル顕微鏡用探針を中空構造とし、その中に異種の材料を装填したものを用い、探針を加熱し、探針に注入された異種材料を選択的に融解し、探針自身を試料に接触させるか、原子を蒸発させることで、試料表面に原子を付着させる。
Claim (excerpt)：
トンネル電流を検出する中空構造の探針と、該探針の中空構造内に充填され、探針材料とは異なる材質の充填材料と、前記探針近傍に配置された加熱ヒータとを備えてなることを特徴とする走査型トンネル顕微鏡。
IPC (3)：
G01N 37/00
, G02B 21/00
, G01B 7/34
