Pat
J-GLOBAL ID：200903016258765051
試料検出装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
深見 久郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993037076
Publication number (International publication number)：1994250093
Application date： Feb. 25, 1993
Publication date： Sep. 09, 1994
Summary：
【要約】【目的】 同時に異なる倍率の試料の像を得ることができる試料検出装置を提供する。【構成】 試料から入射された光は対物レンズ41を通ってビームスプリッタ42,43で3本の光路に分けられる。ビームスプリッタ42で分岐された光はミラー44で反射されて凸レンズ45aを経て高倍率像としてTVカメラ14aで撮像される。ビームスプリッタ42、43を直進した光はTVカメラ14bに入射し、中倍率画像として検出される。ビームスプリッタ43で分岐された光はミラー46で反射され、凹レンズ47bを経てTVカメラ14cに入射され、低倍率画像として検出される。
Claim (excerpt)：
試料を載置する手段と、前記載置手段に対向して設けられ、前記試料の像を形成するための光学系と、前記光学系によって形成される光学経路を複数の経路に分岐するための分岐手段と、前記分岐手段によって分岐された複数の光学経路上に設けられ、各々が相互に異なる倍率で前記試料の像を検出する複数の検出手段とを含む、試料検出装置。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
Return to Previous Page
