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J-GLOBAL ID：200903016262122661

デバイス製造装置および方法

Inventor： 岡部 哲夫
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994330949
Publication number (International publication number)：1996161008
Application date： Dec. 09, 1994
Publication date： Jun. 21, 1996
Summary：

【要約】【目的】 装置にエラーが発生した際にオペレータに適切な対処方法をすみやかに伝え、迅速な対応ができるようにする。【構成】 デバイス製造装置に、表示手段102と、該装置停止の原因毎に所望の対処方法を入力する手段104と、入力された対処方法を記憶する記憶手段332と、装置停止停止時その原因に対応する前記対処方法を前記記憶手段から読み出して前記表示手段上に表示する処理手段331とを具備させる。

Claim (excerpt)：

表示手段と、装置停止の原因毎に所望の対処方法を入力する手段と、入力された対処方法を記憶する記憶手段と、装置停止停止時その原因に対応する前記対処方法を前記記憶手段から読み出して前記表示手段上に表示する処理手段とを具備することを特徴とするデバイス製造装置。

IPC (3)：

G05B 19/048 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (3)：

G05B 19/05 D ,  H01L 21/30 502 G ,  H01L 21/30 516 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 監視方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-186330   Applicant：株式会社東芝
• 特開平2-158805
  
• 特開平3-154847