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J-GLOBAL ID：200903016304596936

感放射線性樹脂組成物

Inventor：
西村 幸生

About 西村 幸生

, 
石井 寛之

About 石井 寛之

, 
西村 功

About 西村 功

, 
小林 英一

About 小林 英一


Applicant, Patent owner：
JSR株式会社

About JSR株式会社


Agent (1)： 福沢 俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002133816
Publication number (International publication number)：2003330192
Application date： May. 09, 2002
Publication date： Nov. 19, 2003
Summary：
【要約】【課題】 放射線に対する透明性が高く、しかも感度、解像度、パターン形状、ドライエッチング耐性、露光後の加熱温度の変動に対する線幅安定性等のレジストとしての基本物性に優れた感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 感放射線性樹脂組成物は、(A)下記式(i-1-1) または式(i-1-2) で表される化合物に由来する繰り返し単位を有する樹脂に代表される酸の作用によりアルカリ可溶性となる樹脂、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする。【化1】(各式中、Rは水素原子またはメチル基を示す。)
Claim (excerpt)：
(A)下記一般式(I)で表される繰り返し単位を有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂であって、酸の作用によりアルカリ可溶性となる樹脂、および(B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔一般式(I)において、R1 は水素原子、メチル基、炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のヒドロキシアルキル基または炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のフッ素化アルキル基を示し、各R2 は相互に独立に炭素数4〜20の1価の脂環式炭化水素基もしくはその誘導体または炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基を示し、かつR2 の少なくとも1つが該脂環式炭化水素基もしくはその誘導体であるか、あるいは何れか2つのR2 が相互に結合して、それぞれが結合している炭素原子と共に、炭素数4〜20の2価の脂環式炭化水素基もしくはその誘導体を形成し、残りのR2 が炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基または炭素数4〜20の1価の脂環式炭化水素基もしくはその誘導体を示し、Uは炭素数5〜12の2価の有橋式炭化水素基を示す。〕
IPC (3)：
G03F 7/039 601 ,  C08F 20/28 ,  H01L 21/027
FI (3)：
G03F 7/039 601 ,  C08F 20/28 ,  H01L 21/30 502 R
F-Term (25)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA09 ,  2H025AA11 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  4J100AL08P ,  4J100BA15P ,  4J100BC03P ,  4J100BC04P ,  4J100BC08P ,  4J100BC12P ,  4J100CA01 ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100JA37 ,  4J100JA38
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (18)
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