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J-GLOBAL ID:200903016307356308
光学デバイス及びその製造方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
遠山 勉 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992161407
Publication number (International publication number):1993173003
Application date: Jun. 19, 1992
Publication date: Jul. 13, 1993
Summary:
【要約】【目的】 光学材料の表面に少なくとも1つの凸弧面、凹弧面を一体に形成する。【構成】 光学材料40から成る光学デバイスの表面上に形成されたフォトレジスト膜に、フォトリソグラフィー法によって少なくとも1つの凸弧面(凹弧面)42を形成し、該表面及びフォトレジスト膜を連続的または段階的にエッチングして、フォトレジスト膜の凸弧面(凹弧面)に類似した少なくとも1つの凸弧面(凹弧面)を該表面に形成する。光学材料を鏡面研磨した場合は研磨にフォトレジスト膜を形成し、研磨面及びフォトレジスト膜を均一にエッチングする。
Claim (excerpt):
表面に凸弧面が形成された光学材料を有することを特徴とする光学デバイス。
Patent cited by the Patent:
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