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J-GLOBAL ID：200903016311393447

圧電共振子

Inventor： 神垣 耕世 ,  西川 洋行 ,  吉村 健一
Applicant, Patent owner： 京セラ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998339358
Publication number (International publication number)：2000165188
Application date： Nov. 30, 1998
Publication date： Jun. 16, 2000
Summary：

【要約】【課題】挿入損失が小さく、圧電体薄膜の電気機械結合係数を高く維持できるとともに、共振周波数の温度係数を0に近づけられる圧電共振子を提供する。【解決手段】振動空間Aを有する基体1と、圧電体薄膜3の両面に電極4、5を形成してなり、振動空間Aに面するように基体1に配置された振動体2とを具備するとともに、圧電体薄膜3が、共振周波数の温度係数が正の圧電体3aと、共振周波数の温度係数が負の圧電体3bとを積層して構成されているものであり、ダイヤモンドからなる支持膜9が基体1の振動空間Aに面するように基体1に配置され、この支持膜9に振動体2が配置されていても良い。

Claim (excerpt)：

振動空間を有する基体と、圧電体薄膜の両面に電極を形成してなり、前記振動空間に面するように前記基体に配置された振動体とを具備するとともに、前記圧電体薄膜が、共振周波数の温度係数が正の圧電体と、共振周波数の温度係数が負の圧電体とを積層して構成されていることを特徴とする圧電共振子。

F-Term (12)：

5J108AA07 ,  5J108BB08 ,  5J108CC01 ,  5J108CC11 ,  5J108DD01 ,  5J108DD06 ,  5J108DD07 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108KK02 ,  5J108KK07