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J-GLOBAL ID：200903016318269393

半導体応力測定用ラマン分光光度計

Inventor： 山口 裕功 ,  江口 欣也 ,  崎元 正教 ,  ▲高▼島 宗彦
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 富田 和子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997360913
Publication number (International publication number)：1999190695
Application date： Dec. 26, 1997
Publication date： Jul. 13, 1999
Summary：

【要約】【課題】顕微ラマン分光光度計において迅速に高感度に応力測定を可能にする。【解決手段】 低分散分光器13では、焦点距離が60cm、エシェレット回折格子30の刻線数が3600本/mmで、1次回折光を用い、高分散分光器14では、凹面反射鏡の焦点距離が60cm、エシェル回折格子35の刻線数が75本/mmで、48次回折光を用い、例えばアルゴンレーザ514.5nmで励起されたシリコンのラマンスペクトルを検出する場合は、515nmから535nmの光が中間スリット32上に分散するようにエシェレット回折格子30を備えた低分散分光器13を調整し、中間スリット32の幅をこの波長幅に対応するように調整して測定する。

Claim (excerpt)：

レーザ光を発生するレーザ光源と、該発生したレーザ光を試料に照射する光学系と、該試料で発生したラマン光を分光する分光器と、該分光されたラマンスペクトルを検出する検出器とを備えるラマン分光光度計において、前記分光器は、前記ラマン光を分光するための、エシェレット回折格子を用いた第1の分光器と、前記第1の分光器で分光されたラマン光を通過させる中間スリットと、前記中間スリットを通過してきたラマン光をさらに分光するための、エシェル回折格子を用いた第2の分光器とを備えることを特徴とするラマン分光光度計。

IPC (3)：

G01N 21/65 ,  G01J 3/44 ,  H01L 21/66

FI (4)：

G01N 21/65 ,  G01J 3/44 ,  H01L 21/66 Z ,  H01L 21/66 N