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J-GLOBAL ID：200903016325580843

ポジ型感光性樹脂組成物、パターンの製造法及び電子部品

Inventor： 田鎖 寿紀
Applicant, Patent owner： 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002321330
Publication number (International publication number)：2004157248
Application date： Nov. 05, 2002
Publication date： Jun. 03, 2004
Summary：

【課題】酸条件下で脱離可能な保護基にてアルカリ可溶性基を保護した溶解性変換剤にカルボニル基を導入することで、溶解性変換剤とポリオキサゾール前駆体又はポリイミド前駆体との相互作用を強めることによって、前記問題を解決し、しかも接着性、耐熱性に富んだポジ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(A)分子末端に熱で重合しうる官能基を持つ有機基を有するポリオキサゾール前駆体又はポリイミド前駆体、(B)放射線照射により酸を発生する化合物、(C)酸触媒作用で分解し水素原子に変換し得る有機基を有する化合物を含有してなるポジ型感光性樹脂組成物。【選択図】 なし。

Claim (excerpt)：

(A)分子末端に熱で重合しうる官能基を持つ有機基を有するポリオキサゾール前駆体又はポリイミド前駆体、(B)放射線照射により酸を発生する化合物、(C)酸触媒作用で分解し水素原子に変換し得る有機基を有する化合物を含有してなるポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (5)：

G03F7/039 ,  C08G73/06 ,  G03F7/037 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027

FI (6)：

G03F7/039 601 ,  C08G73/06 ,  G03F7/037 ,  G03F7/40 501 ,  H01L21/30 502R ,  H01L21/30 575

F-Term (66)：

2H025AA10 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AD03 ,  2H025BC69 ,  2H025BC70 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025CB25 ,  2H025CB26 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA14 ,  2H025FA29 ,  2H096AA25 ,  2H096BA09 ,  2H096BA20 ,  2H096EA02 ,  2H096EA03 ,  2H096EA06 ,  2H096EA07 ,  2H096FA01 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  2H096JA03 ,  2H096JA04 ,  4J043PA02 ,  4J043PB22 ,  4J043QB34 ,  4J043RA34 ,  4J043RA52 ,  4J043SA06 ,  4J043SA71 ,  4J043TA12 ,  4J043UA022 ,  4J043UA041 ,  4J043UA042 ,  4J043UA061 ,  4J043UA062 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA162 ,  4J043UA262 ,  4J043UB021 ,  4J043UB022 ,  4J043UB061 ,  4J043UB062 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB151 ,  4J043UB152 ,  4J043UB281 ,  4J043UB291 ,  4J043UB302 ,  4J043XA16 ,  4J043XB07 ,  4J043YA10 ,  4J043ZB22 ,  5F046NA19