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J-GLOBAL ID：200903016329002933

不溶性陽極を用いた電気銅めっき装置及びそれを使用する銅めっき方法

Inventor： 三浦 武之 ,  須田 和幸 ,  清田 優
Applicant, Patent owner： 日本リーロナール株式会社
Agent (1)： 中村 稔 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996273541
Publication number (International publication number)：1998121297
Application date： Oct. 16, 1996
Publication date： May. 12, 1998
Summary：

【要約】【課題】 容易でかつ高能率で実施しうる、不溶性陽極を用いた電気銅めっき装置及びその装置を使用して実施する電気銅めっき方法を提供する。【解決手段】 不溶性陽極及びその対極となる陰極としての被めっき物とを含有するめっき槽において電気銅めっきする際に、陰イオン交換膜により、金属銅陽極を有する陽極室と、硫酸溶液を含有する陰極室とに区分された銅イオン補給槽において、金属銅を溶解し、陽極室の液中に銅イオンを補給する。また、拡散透析膜を使用する硫酸イオン回収槽と、上記陰極室とを循環関係で連結することにより、上記陽極室の液における硫酸イオン濃度の上昇を抑える。

Claim (excerpt)：

(1)硫酸及び硫酸銅を基本成分とするめっき液と、不溶性陽極及びその対極となる陰極としての被めっき物とを含有するめっき槽、(2)陰イオン交換膜により、めっき液を含有しかつ陽極を有する陽極室と、硫酸溶液を含有しかつ陰極を有する陰極室とに区分された銅イオン補給槽であって、前記陽極室が前記めっき槽と循環関係で連結しているとともに、前記陽極室の陽極が金属銅からなる銅イオン補給槽、(3)前記銅イオン補給槽の陽極室に拡散透析膜を介して設けられるとともに、硫酸溶液を含有しかつ拡散透析膜により硫酸イオンを回収する硫酸イオン回収槽であって、前記陰極室と、循環関係で連結している硫酸イオン回収槽、を含有することを特徴とする電気銅めっき装置。

IPC (2)：

C25D 21/14 ,  C25D 3/38 101

FI (2)：

C25D 21/14 G ,  C25D 3/38 101