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J-GLOBAL ID：200903016378909308

移動ステージ装置

Inventor： 鎌田 重人 ,  是永 伸茂
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 阪本 善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993271245
Publication number (International publication number)：1995103713
Application date： Oct. 04, 1993
Publication date： Apr. 18, 1995
Summary：

【要約】【目的】 移動量をモニタするミラーの必要長さを縮小し、ミラーを軽量化する。【構成】 保持盤1は図示しないXY駆動機構によってX,Y軸方向に移動し、ウエハW1 の各露光領域を露光光の光軸Oに対して位置決めする。保持盤1のX軸方向の移動量は一対のX干渉計4からXミラー2にレーザ光を照射し、その反射光に基づいて検出される。Y軸方向も同様に一対のY干渉計5からYミラー2にレーザ光を照射し、その反射光に基づいて検出される。保持盤1の回転変位は両X干渉計4の出力の差または両Y干渉計5の出力の差を算出することで検出される。Xミラー2、Yミラー3の長さLx,Lyを保持盤1の移動領域の最大幅Tx,Tyより小さくしても、保持盤1の移動量および回転変位を検出できる。

Claim (excerpt)：

案内面に沿って所定の移動領域内を第1および第2の軸方向に移動自在である移動台と、該移動台とそれぞれ一体である第1および第2のミラーと、それぞれ前記第1のミラーにレーザ光を照射してその反射光によって前記移動台の前記第1の軸方向の移動量を検出する一対の第1の干渉計と、それぞれ前記第2のミラーにレーザ光を照射してその反射光によって前記移動台の前記第2の軸方向の移動量を検出する一対の第2の干渉計を有することを特徴とする移動ステージ装置。

IPC (6)：

G01B 11/00 ,  B23Q 17/24 ,  G01B 9/02 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68