Pat

J-GLOBAL ID：200903016389706077

狭帯域レーザ装置

Inventor： 若林 理 ,  小林 諭樹夫 ,  小若 雅彦
Applicant, Patent owner： 株式会社小松製作所
Agent (1)： 木村 高久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992080898
Publication number (International publication number)：1993283785
Application date： Apr. 02, 1992
Publication date： Oct. 29, 1993
Summary：

【要約】【目的】狭帯域レーザ装置において、レーザ光の波長を高速かつ高精度に安定的に制御することができるようにする。【構成】レーザチャンバ11とグレーティング16との間に少なくとも1個のミラ15ーを、前記グレーティング16の線引き方向とビームエキスパンダ14のビームエキスパンド方向が略一致し、かつ前記グレーティング16の線引き方向と前記ビームエキスパンド方向を含む平面と前記ミラー15の入反射面が略一致するように配置するとともに、前記ミラーの角度を変化させる手段を具えた。

Claim (excerpt)：

狭帯域化素子としてビームエキスパンダとグレーティングを配置した狭帯域レーザ装置において、レーザ媒質とグレーティングとの間に少なくとも1個のミラーを、前記グレーティングの線引き方向とビームエキスパンド方向が略一致し、かつ前記グレーティングの線引き方向と前記ビームエキスパンド方向を含む平面と前記ミラーの入反射面が略一致するように配置するとともに、前記ミラーの角度を変化させる手段を具えたことを特徴とする狭帯域レーザ装置。

IPC (4)：

H01S 3/1055 ,  H01L 21/027 ,  H01S 3/08 ,  H01S 3/106

FI (2)：

H01L 21/30 311 S ,  H01S 3/08 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平2-307285
  
• 特開平4-072782
  
• 特開平3-046285