誘電体バリア放電ランプ、および照射装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998217187
Publication number (International publication number)：2000048772
Application date： Jul. 31, 1998
Publication date： Feb. 18, 2000
Summary：

【要約】【課題】 OH基を含有した石英ガラスを光透過性部分とした誘電体バリア放電ランプ、および誘電体バリア放電ランプを光源とし、OH基を含有した石英ガラスを窓部材とした照射装置であって、石英ガラスの紫外線によるダメージを良好に抑え、かつ、十分な紫外線放射量を得ることができる構造を提供することである。【解決手段】石英ガラスからなる放電容器の内部に誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填され、この放電容器の少なくとも一部に光透過性部分が形成されており、この光透過性部分における非水素結合性OH基の割合が全体のOH基の0.36以下であることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

石英ガラスからなる放電容器の内部に誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填され、この放電容器の少なくとも一部に光透過性部分が形成されている誘電体バリア放電ランプにおいて、前記光透過性部分における非水素結合性OH基の割合が、全体のOH基に対して、0.36以下であることを特徴とする誘電体バリア放電ランプ。

IPC (3)：

H01J 65/00 , G21K 5/00 , H01J 61/30

FI (3)：

H01J 65/00 A , G21K 5/00 Z , H01J 61/30 N

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

誘電体バリヤ放電ランプ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-032527 Applicant：ウシオ電機株式会社
誘電体バリヤ放電ランプ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-032526 Applicant：ウシオ電機株式会社

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