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J-GLOBAL ID：200903016399660652
原子間力顕微鏡およびその走査方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992033096
Publication number (International publication number)：1993231860
Application date： Feb. 20, 1992
Publication date： Sep. 07, 1993
Summary：
【要約】【目的】 原子間力顕微鏡とその走査方法に関するもので、特に、高アスペクト比に針状結晶の探針を有し、水平方向走査初期の摩擦力の影響を受けず、試料を精度良く測定するための原子間力顕微鏡を提供する。【構成】 針状結晶で形成された探針1を具備し、少なくとも各水平方向走査の初期に画像化しない助走区間4を設けて、ラスター走査し、前記助走区間以外の試料表面の凹凸を画像化する。
Claim (excerpt)：
試料表面を横方向に走査する位置を変えながら、前記横方向走査を繰り返すラスター走査を行う原子間力顕微鏡の走査方法において、少なくとも前記各横方向走査の初期に助走区間を設けていることを特徴とする原子間力顕微鏡の走査方法。
IPC (2)：
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