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J-GLOBAL ID：200903016434027208
角速度センサ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
杉信 興
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997203560
Publication number (International publication number)：1999044541
Application date： Jul. 29, 1997
Publication date： Feb. 16, 1999
Summary：
【要約】【課題】 角速度検出精度の向上。角速度が加わっていないときの角速度信号の偏倚を抑制。z方向加速度による検出誤差の低減。【解決手段】 シリコン基板1にx方向には可動、y方向には不動に支持された導電性ポリシリコン半導体薄膜の第1浮動体2;基板1にx方向には不動、y方向には可動に支持された第2浮動体3;第1浮動体2と第2浮動体3とを連結する第3浮動体I;第1浮動体2をx方向に振動駆動する手段4,5,15;第2浮動体3のy方向変位を検出する変位検出手段6a,6b,7a,7b,12,13,17;および、変位信号を角速度信号に変換する変換手段18;を備える。第3浮動体Iはx方向梁Ix1〜4で第1浮動体に、y方向梁で第2浮動体に連結。第1〜3浮動体の重心は同一位置。
Claim (excerpt)：
基板;該基板にx方向には可動に、y方向には実質上不動に支持された第1可動体;前記基板にy方向には可動に、x方向には実質上不動に支持された第2可動体; x,y方向に可動であって、第1可動体に対してはy方向に可動にx方向には実質上不動に連結され、第2可動体に対してはx方向に可動にy方向には実質上不動に連結された、第3可動体;第1可動体をx方向に振動駆動する励振手段;第2可動体のy方向変位を検出する変位検出手段;および、該変位検出手段が発生する変位信号を角速度信号に変換する変換手段;を備える角速度センサ。
IPC (2)：
FI (2)：
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