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J-GLOBAL ID:200903016435519414

高純度水中への長鎖アミンの溶出低減方法及び溶出低減装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 内山 充
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002031826
Publication number (International publication number):2003230821
Application date: Feb. 08, 2002
Publication date: Aug. 19, 2003
Summary:
【要約】【課題】半導体、液晶などの電子部品製造工場、医薬用水、原子力発電所などで広く使用されている高純度水中への長鎖アミンの溶出を効果的に低減し、純度の極めて高い高純度水を供給することができる高純度水中への長鎖アミンの溶出低減方法及び溶出低減装置を提供する。【解決手段】分離膜を用いた高純度水製造装置からの高純度水中への長鎖アミンの溶出低減方法であって、洗浄水で予め分離膜を洗浄して、分離膜に含まれる長鎖アミンを除去する高純度水中への長鎖アミンの溶出低減方法、並びに、洗浄によって分離膜に含まれる長鎖アミンを除去する装置であって、洗浄水を貯めておくタンクと;その洗浄水をタンクから送出させる手段と;分離膜を配置する分離膜洗浄部と;分離膜の洗浄後の洗浄水をタンクに戻す手段と;そして、分離膜から洗浄中に溶出した長鎖アミンを除去または分解する手段を有する高純度水中への長鎖アミンの溶出低減装置。
Claim (excerpt):
分離膜を用いた高純度水製造装置からの高純度水中への長鎖アミンの溶出低減方法であって、洗浄水で予め分離膜を洗浄して、分離膜に含まれる長鎖アミンを除去することを特徴とする高純度水中への長鎖アミンの溶出低減方法。
IPC (5):
B01D 65/02 ,  B01J 35/02 ,  B08B 3/08 ,  C02F 1/32 ,  C02F 1/72 101
FI (5):
B01D 65/02 ,  B01J 35/02 J ,  B08B 3/08 Z ,  C02F 1/32 ,  C02F 1/72 101
F-Term (52):
3B201AA47 ,  3B201BB62 ,  3B201BB82 ,  3B201BB90 ,  3B201BB95 ,  3B201CD21 ,  3B201CD22 ,  4D006GA03 ,  4D006GA06 ,  4D006GA07 ,  4D006GA25 ,  4D006KC02 ,  4D006KC03 ,  4D006KC15 ,  4D006KC16 ,  4D006KC20 ,  4D006KD28 ,  4D006KD29 ,  4D006MA01 ,  4D006MA02 ,  4D006MA03 ,  4D006MA04 ,  4D006MC16 ,  4D006MC39 ,  4D006MC54 ,  4D006MC61 ,  4D006PA01 ,  4D006PB02 ,  4D006PC01 ,  4D006PC32 ,  4D006PC42 ,  4D037AA08 ,  4D037AB12 ,  4D037BA18 ,  4D037BB06 ,  4D037CA03 ,  4D037CA11 ,  4D050AA08 ,  4D050AB17 ,  4D050BB01 ,  4D050BC04 ,  4D050BD02 ,  4D050BD06 ,  4D050CA01 ,  4D050CA07 ,  4D050CA09 ,  4G069BA04B ,  4G069BA48A ,  4G069BC35B ,  4G069CA05 ,  4G069CA10 ,  4G069CA11
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)

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