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J-GLOBAL ID：200903016459971016

液晶表示装置

Inventor： 金井 清彦 ,  松尾 睦
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992035236
Publication number (International publication number)：1993235360
Application date： Feb. 21, 1992
Publication date： Sep. 10, 1993
Summary：

【要約】【構成】 TFTのソ-スと導通接続しているデ-タ線と、ドレイン及び画素電極と導通接続している積み上げ電極層を、ITOとの接続抵抗が低くかつITOのエッチング液に溶解しないコンタクトメタル材料を用い、多層構造とすることを特徴とする。【効果】 画素電極ITOと積み上げ電極層との接続抵抗をコンタクトメタルを使用することによって低減させることができ、またデ-タ線が絶縁膜によって埋め込まれているためデ-タ線の電界の影響を緩和することが可能なため表示品質を向上させることができる。更にデ-タ線の断線もコンタクトメタルによって防止されるため歩留りが向上する。

Claim (excerpt)：

透明な絶縁基板の表面側に形成されたマトリクスアレイが、薄膜トランジスタのソ-スに下層側層間絶縁膜の第1の接続孔を介して導通接続する第1のデ-タ線およびこの第1のデ-タ線表面に導通接続して多重配線構造を構成する第2のデ-タ線と、前記薄膜トランジスタのドレインに前記下層側層間絶縁膜の第2の接続孔を介して導通接続しており、導電性のある第1の積み上げ電極層及びこの第1の積み上げ電極層表面に導通接続して多重配線構造を構成する第2の積み上げ電極層と、この積み上げ電極層に上層側層間絶縁膜の接続孔を介して導通接続しており、端部が前記デ-タ線の上方に位置する画素電極と、を有することを特徴とする液晶表示装置。

IPC (3)：

H01L 29/784 ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 27/12

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開昭58-088781
  
• 特開平3-012637
  
• 特開昭64-059852
  
• 特開昭61-035564
  
• 特開平2-245739