Pat

J-GLOBAL ID：200903016465385862

静電チャック

Inventor： 遠藤 民夫
Applicant, Patent owner： 東京エレクトロン株式会社
Agent (1)： 金本 哲男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993107364
Publication number (International publication number)：1994302678
Application date： Apr. 09, 1993
Publication date： Oct. 28, 1994
Summary：

【要約】【目的】 処理中に被処理体の温度分布が不均一になるのを防止する。【構成】 上下両側から絶縁体16、17によって挟持される導電層15において、その周辺部から絶縁体16表面までの距離を、中央部から絶縁体16表面までの距離よりも短くし、高圧直流電源18からの印加によって生ずる静電吸着力を周辺部の方をより強くする。【効果】 周辺部における熱伝達率が改善され、温度分布が均一化される。

Claim (excerpt)：

導電体の上下面に絶縁体を有し、当該導電体に電圧が印加された際に発生する静電気力によって自体の上面に載置される被処理体を吸着保持する如く構成された静電チャックにおいて、周辺部における導電体から上記上側の絶縁体の表面までの距離を、中央部における導電体から上記上側の絶縁体の表面までの距離よりも短くしたことを特徴とする、静電チャック。

IPC (4)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H02N 13/00 ,  H01L 21/302

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 静電チャック
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-030268   Applicant：富士通株式会社