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J-GLOBAL ID:200903016474416940
導電性パターンの作製のための材料及び方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
小田島 平吉
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2002512745
Publication number (International publication number):2004504693
Application date: Jun. 22, 2001
Publication date: Feb. 12, 2004
Summary:
支持体及び露光分化可能な要素を含み、露光分化可能な要素がポリアニオン及び置換もしくは非置換チオフェンのポリマーもしくはコポリマーを含有する最外層ならびに場合により最外層と連続している第2層を含み;且つここで、最外層及び/又は場合による第2層が、露出されると最外層の非露出部分に対して最外層の露出部分の除去性を変化させることができる感光性成分を含有していることを特徴とする、導電性パターンの作製のための材料;ならびに導電性パターンの作製のための材料を用いて支持体上に導電性パターンを作製する方法。
Claim (excerpt):
支持体及び露光分化可能な要素を含み、該露光分化可能な要素がポリアニオン及び置換もしくは非置換チオフェンのポリマーもしくはコポリマーを含有する最外層ならびに場合により該最外層と連続している第2層を含み;且つここで、該最外層及び/又は該場合による第2層が、露出されると該最外層の非露出部分に対して該最外層の露出部分の除去性を変化させることができる感光性成分を含有することを特徴とする、導電性パターンの作製のための材料。
IPC (4):
H01B13/00
, G03F7/032
, H01B1/12
, H01L21/28
FI (5):
H01B13/00 503D
, H01B13/00 503B
, G03F7/032
, H01B1/12 F
, H01L21/28 301Z
F-Term (20):
2H025AA04
, 2H025AA19
, 2H025AB14
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025AD03
, 2H025BA01
, 2H025CB06
, 2H025CB41
, 2H025DA40
, 2H025FA17
, 4M104BB36
, 4M104DD51
, 4M104DD62
, 4M104DD73
, 4M104DD77
, 4M104DD81
, 5G323BB01
, 5G323CA04
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