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J-GLOBAL ID：200903016483425022

ステージ装置及びそれを用いた光学装置

Inventor： 徳島 忍
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 志賀 正武 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998193190
Publication number (International publication number)：2000031007
Application date： Jul. 08, 1998
Publication date： Jan. 28, 2000
Summary：

【要約】【課題】 真空容器内部での高精度なステージ移動を可能ならしめる動力伝達方式を備えたステージ装置を提供する。【解決手段】 ステージ装置Sは真空容器1、ステージ3、ステージ駆動機構4を備えている。また、ステージ3とステージ駆動機構4との間には連結手段5が備えられている。真空容器1内部におけるステージ3の移動は、ステージ駆動機構4から連結手段5を介した動力伝達により実現される。真空容器1の側壁1aには、連結手段5が貫通する管路10が形成されている。管路10には溝部20a1、20a2、導通路20b1、20b2、溝部排気用ポンプ20c1、20c2からなる圧力調整手段20が接続されている。この圧力調整手段20により、管路10内部は、真空容器1内部圧力と外部圧力との中間の圧力とされることで、当該管路10が圧力の観点からみた一種の緩衝地帯として働き、真空容器1内部の真空度が一定に保たれる。

Claim (excerpt)：

その内部が外部とは異なる圧力に設定された容器と、該容器内部に設置されかつ移動可能とされたステージと、前記容器外部に設置され前記ステージを駆動させるステージ駆動機構と、前記ステージ駆動機構から前記ステージに動力を伝達する連結手段とを備え、前記容器の壁には、前記連結手段を貫通させる管路が形成され、該管路には、当該管路内部を前記容器内部の圧力と前記容器外部の圧力との中間の任意の圧力に調整する圧力調整手段が接続されていることを特徴とするステージ装置。

IPC (4)：

H01L 21/027 ,  F16C 32/06 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68

FI (5)：

H01L 21/30 503 A ,  F16C 32/06 Z ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/30 541 L

F-Term (14)：

3J102AA02 ,  3J102BA05 ,  3J102CA05 ,  3J102CA11 ,  3J102EA02 ,  3J102EA06 ,  3J102GA01 ,  5F031CC01 ,  5F031JJ02 ,  5F031LL02 ,  5F046CC01 ,  5F046CC18 ,  5F046DA27 ,  5F056EA14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭60-066347
  
• 特表昭58-500134