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J-GLOBAL ID：200903016495583901

機械式インターフエース装置

Inventor： 河野 等 ,  奥野 敦 ,  津田 正徳 ,  林 満弘 ,  山下 哲平 ,  村田 正直 ,  田中 幹 ,  森田 日也
Applicant, Patent owner： 神鋼電機株式会社
Agent (1)： 小林 傅
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991269776
Publication number (International publication number)：1993109862
Application date： Oct. 17, 1991
Publication date： Apr. 30, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本体ケースのポートまわりにロック機構等を設けることなく、簡便な手段で、ポッドと装置本体間のシール性を確実に向上することができる機械式インターフェース装置を提供することを目的とする。【構成】 装置ケース1に設けられ被処理物の搬入・搬出用ポート4を形成するポートプレート3上に載置されて前記ポートを覆う開口フランジ12付ポッド10、このポッドの開口11を閉鎖可能なポッドドア21、前記本体ケース1内に昇降可能に支持され最上昇時に上記ポートプレート3に係合して前記ポートを閉鎖するポートドア31、および上記ポッドのフランジ12を上記ポートプレート3に向けて付勢する手段とを備え、このポートドア31が上記ポッドドア21を上記ポッド内から本体ケース1内へまたその逆へ搬送する機械式インターフェース装置において、上記付勢する手段が、上記ポッドの上面に下降駆動されて当該ポッドを押圧可能なパッド54と、このパッド54を上下動させる昇降駆動機構からなることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

装置ケースに設けられ被処理物の搬入・搬出用ポートを形成するポートプレート上に載置されて前記ポートを覆う開口フランジ付ポッド、このポッドの開口を閉鎖可能なポッドドア、前記本体ケース内に昇降可能に支持され最上昇時に上記ポートプレートに係合して前記ポートを閉鎖するポートドア、および上記ポッドを上記ポートプレートに向けて付勢する手段とを備え、このポートドアが上記ポッドドアを上記ポッド内から本体ケースへまたその逆へ搬送する機械式インターフェース装置において、上記付勢する手段が、上記ポッドの上面に下降駆動されて当該ポッドを押圧可能なパッドと、このパッドを上下動させる昇降駆動機構からなることを特徴とする機械式インターフェース装置。

IPC (2)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/02