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J-GLOBAL ID：200903016544715223
プラズマエッチング用電極板及び治具
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小林 雅人 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992179256
Publication number (International publication number)：1993347278
Application date： Jun. 12, 1992
Publication date： Dec. 27, 1993
Summary：
【要約】【目的】 従来技術の難点を解決し、高精度なエッチング加工を行うことができ、しかも耐久性に優れたプラズマエッチング用電極板を提供することを目的とする。【構成】 本発明のプラズマエッチング用電極板は、ポリカルボジイミド樹脂を原料として製造したガラス状炭素材からなることを特徴とするものである。ポリカルボジイミド樹脂を原料として製造したガラス状炭素材は気孔を全く乃至は殆ど含んでおらず、この極めて低い気孔率と、焼成後のポリカルボジイミド樹脂自体の強度により、優れた物性を示すものである。
Claim (excerpt)：
ポリカルボジイミド樹脂を原料として製造したガラス状炭素材からなることを特徴とするプラズマエッチング用電極板。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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