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J-GLOBAL ID：200903016597893883

異物検査装置

Inventor： 宍戸 弘明 ,  野口 稔
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 秋本 正実
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991154572
Publication number (International publication number)：1993002262
Application date： Jun. 26, 1991
Publication date： Jan. 08, 1993
Summary：

【要約】【目的】 回路パターン付基板に付着されている、サブミクロンオーダーの微細な異物を安定に検出すること。【構成】 斜方照明2により発生する散乱光を開口数0.4以上の光学系41で集光し、フーリエ変換面上に設けた空間フィルタ44により回路パターンからの回折光を遮光し、検出器51上に結像させる検出光学系4と、検出器の検出値を照明むらに合わせて補正する回路113と、2×2画素の検出値の加算値を求める回路および検出器画素の周囲4方向へ1画素ずつシフトした4つの加算値の最大値を求める回路114と、検出結果を試料上を数百画素ごとにブロック分けしたメモリへ収納する回路112から構成される。

Claim (excerpt)：

ホトマスクやレチクル等の回路パターンを有する基板試料上に付着した異物を検出する異物検査装置において、前記基板試料を載置してX,Y,Zの各方向へ任意に移動可能なステージおよびその駆動制御系からなる検査ステージ部と、前記基板試料を斜方から照射する照明系と、該照明系の照射により前記基板試料の上に発生する散乱光および回折光を集光してフーリエ変換面上に設けた空間フィルタにより前記回路パターンの直線部分からの回折光を遮光して、検出器上に結像させる検出光学系と、前記検査ステージ上またはその周囲に載置された標準試料により予め測定された前記照明系の照度分布の概略逆数を該検出器の出力の増幅率または乗数とする増幅器または乗算器と、該増幅器または乗算器の出力を演算処理し、前記基板試料上の異物データを演算表示する信号処理系とを備えたことを特徴とする異物検査装置。

IPC (3)：

G03F 1/08 ,  G01N 21/88 ,  H01L 21/66

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭63-006443
  
• 特開昭63-268245
  
• 特開昭60-038827