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J-GLOBAL ID：200903016598110645

測定対象物との距離等を抽出する光学形状センサ

Inventor： 西村 国俊 ,  西沖 暢久
Applicant, Patent owner： 株式会社ミツトヨ
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001235771
Publication number (International publication number)：2003042733
Application date： Aug. 03, 2001
Publication date： Feb. 13, 2003
Summary：

【要約】【課題】 測定対象物体との相対的な移動の必要がなく、瞬時に測定できる光学形状センサを得るにある。【解決手段】 所定の周波数で変調された発光量の可変な光を測定対象物表面に照射する複数の発光光源LED1,LED2と、前記測定対象物表面からの反射光を受ける検出素子PHTRとを備え、前記検出素子PHTRの出力信号の位相情報に、測定対象物表面位置から前記検出素子PHTRに至る距離情報、または距離情報と傾斜情報を含む光学形状センサにおいて、前記検出素子PHTRは前記発光光源LED1,LED2間を結ぶ直線または同直線に平行な直線状で整列した複数の検出素子LS1 で構成される測定対象物との距離等を抽出する光学形状センサ。

Claim (excerpt)：

所定の周波数で変調された発光量の可変な光を測定対象物表面に照射する複数の発光光源と、前記測定対象物表面からの反射光を受ける検出素子とを備え、前記検出素子の出力信号の位相情報に、測定対象物表面位置から前記検出素子に至る距離情報、または距離情報と傾斜情報を含む光学形状センサにおいて、前記検出素子は前記発光光源間を結ぶ直線または同直線に平行な直線状で整列した複数の検出素子で構成されることを特徴とする測定対象物との距離等を抽出する光学形状センサ。

IPC (3)：

G01B 11/24 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/26

FI (3)：

G01B 11/00 B ,  G01B 11/26 Z ,  G01B 11/24 A

F-Term (19)：

2F065AA02 ,  2F065AA06 ,  2F065AA31 ,  2F065AA51 ,  2F065BB05 ,  2F065DD02 ,  2F065DD06 ,  2F065FF13 ,  2F065GG07 ,  2F065GG13 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL10 ,  2F065LL30 ,  2F065NN02 ,  2F065PP25 ,  2F065QQ17 ,  2F065UU02