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J-GLOBAL ID：200903016603997343
変位計測装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
光石 俊郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992123481
Publication number (International publication number)：1993322560
Application date： May. 15, 1992
Publication date： Dec. 07, 1993
Summary：
【要約】【目的】 被計測対象物で反射した反射光を、4分割受光素子に導入し、4分割受光素子の出力を演算回路で処理し、対物レンズと被計測対象物表面との相対的な変位を計測する変位計測装置において、位置調整に伴う人為的な誤差及び径年的な誤差を排除して精度の良い位置計測を行うことを目的とする。【構成】 4分割受光素子を支持機構により光軸と直交する平面内で変位可能に支持し、4分割受光素子の四つに分割された受光面うち、対向するものの出力が等しくなるように制御回路によりアクチュエータを制御して4分割受光素子を光軸に対して垂直な平面内で直交する二つの方向にそれぞれ変位させるようにしたものである。
Claim (excerpt)：
光源と、偏光ビームスプリッタと1/4波長板と対物レンズと集光レンズと円筒面レンズと有する光学系と、4分割受光素子とを備え、該光源から出た光を対物レンズに入射させた後、被計測対象物表面上へ照射し、該表面で反射した反射光を対物レンズを介して、1/4波長板と偏光ビームスプリッタと集光レンズと円筒面レンズとに導き、4分割受光素子に導入し、該4分割受光素子の出力を演算回路で処理し、対物レンズと、被計測対象物表面との相対的な変位を計測する変位計測装置において、上記4分割受光素子を光軸と直交する平面内で変位可能に支持する支持機構と、該4分割受光素子を光軸に対して垂直な平面内で直交する二つの方向にそれぞれ駆動させる二つのアクチュエータと、上記4分割受光素子の四つに分割された受光面うち、対向するものの出力が等しくなるように上記アクチュエータを制御する制御回路とを有することを特徴とする変位計測装置。
IPC (2)：
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