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J-GLOBAL ID：200903016611460413

走査型プローブ顕微鏡の位置制御システム

Inventor： 童 毅
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995012472
Publication number (International publication number)：1996201402
Application date： Jan. 30, 1995
Publication date： Aug. 09, 1996
Summary：

【要約】【目的】この発明は、制御系を安定させて応答性を速めると共に、位置決め精度を高め、システムの複雑化や装置の大型化を避けるために、圧電体の固有共振周波数が平坦な特性となるべく演算して該圧電体の走査電圧を制御する。【構成】位置制御回路の外部からの走査信号が、比較器14を介して積分補償器15に入力される。この積分補償器15の出力は、加算器20から高圧アンプ16を介して圧電アクチュエータ17に供給されると共に、規範モデル部21に供給される。圧電アクチュエータ17の出力は、上記規範モデル部21の出力と共に比較器22に供給されると共に、変位センサ18を介して比較器14にフィードバックされる。また、比較器22からは適応機構部23を経て、補正電圧Vaが加算器20に入力される。加算器20で加算された走査電圧は、高圧アンプ16で増幅されて、制御電圧Vpとして圧電アクチュエータ17に供給される。

Claim (excerpt)：

圧電体を用いた走査型プローブ顕微鏡の位置制御システムに於いて、上記圧電体に入力される走査電圧に基いて上記圧電体の固有共振周波数が平坦な特性となるべく変位を演算する第1の演算手段と、この第1の演算手段で演算された変位と上記圧電体の変位出力とを比較して誤差を求める比較手段と、この比較手段で求められた上記誤差に基いて補正電圧を演算する第2の演算手段と、この第2の演算手段で演算された補正電圧と上記入力電圧とを加算して上記圧電体に制御電圧を供給する加算手段とを具備することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡の位置制御システム。

IPC (3)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28