感放射線性樹脂組成物

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000150080
Publication number (International publication number)：2001330953
Application date： May. 22, 2000
Publication date： Nov. 30, 2001
Summary：

【要約】【課題】広いプロセスマージンと保存安定性を併せ持ち、かつ耐熱性、耐溶剤性、透明性に優れる層間絶縁膜、およびマイクロレンズを形成できる感放射線性樹脂組成物、ならびにそれから得られる層間絶縁膜、マイクロレンズを提供すること。【解決手段】感放射線性樹脂組成物は、[A](a1)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物、(a2)オキセタニル基を含有する特定の単量体、(a3)前記(a1)(a2)以外のオレフィン系不飽和化合物との共重合体と、[B]1,2-キノンジアジド化合物を含有する。層間絶縁膜およびマイクロレンズは、上記組成物より得られる。

Claim (excerpt)：

[A](a1)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物、(a2)一般式(I)または一般式(II)で示される化合物、【化1】[ここで、Rは水素原子または炭素数1〜4のアルキル基であり、R1は水素原子または炭素数1〜4のアルキル基であり、R2、R3、R4およびR5はそれぞれ独立に水素原子、フッ素原子、炭素数1〜4のアルキル基、フェニル基、または炭素数1〜4のパーフロロアルキル基であり、そしてnは1〜6の整数である。]で示される単量体、並びに(a3)前記(a1)および(a2)以外のオレフィン系不飽和化合物を共重合して得られる共重合体と、[B]1,2-キノンジアジド化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (17)：

G03F 7/033 , C08F220/00 , C08F220/04 , C08F220/26 , C08F222/02 , C08F222/04 , C08K 5/28 , C08L 33/00 , C08L 35/00 , C09D 4/02 , C09D 5/00 , C09D133/04 , C09D201/06 , G02B 1/04 , G02B 3/00 , G03F 7/022 , C09D 5/25

FI (17)：

G03F 7/033 , C08F220/00 , C08F220/04 , C08F220/26 , C08F222/02 , C08F222/04 , C08K 5/28 , C08L 33/00 , C08L 35/00 , C09D 4/02 , C09D 5/00 Z , C09D133/04 , C09D201/06 , G02B 1/04 , G02B 3/00 A , G03F 7/022 , C09D 5/25

F-Term (114)：

2H025AA06 , 2H025AA10 , 2H025AA14 , 2H025AA20 , 2H025AB14 , 2H025AB20 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB08 , 2H025CB14 , 2H025CB41 , 2H025CB43 , 2H025CB51 , 2H025CC17 , 2H025FA29 , 4J002BC041 , 4J002BG011 , 4J002BG041 , 4J002BG051 , 4J002BG061 , 4J002BG071 , 4J002BG101 , 4J002BG131 , 4J002BH021 , 4J002BK001 , 4J002BL011 , 4J002BL021 , 4J002CC185 , 4J002CD005 , 4J002CD191 , 4J002EQ036 , 4J002EV246 , 4J002FD200 , 4J002FD310 , 4J002GH01 , 4J002GP01 , 4J002GQ01 , 4J038CA021 , 4J038CC001 , 4J038CD001 , 4J038CE051 , 4J038CF021 , 4J038CG001 , 4J038CG141 , 4J038CH111 , 4J038CM021 , 4J038GA02 , 4J038GA06 , 4J038JB15 , 4J038NA04 , 4J038NA12 , 4J038NA14 , 4J038NA21 , 4J038PA17 , 4J038PB08 , 4J038PB09 , 4J038PB11 , 4J100AB02R , 4J100AB03R , 4J100AB04R , 4J100AB07R , 4J100AC03R , 4J100AC04R , 4J100AG04R , 4J100AJ01P , 4J100AJ02P , 4J100AJ08P , 4J100AJ09P , 4J100AK31P , 4J100AK32P , 4J100AL03R , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AL08R , 4J100AL09R , 4J100AL10R , 4J100AL34R , 4J100AL44R , 4J100AM02R , 4J100AM15R , 4J100AM47R , 4J100AM48R , 4J100AS01R , 4J100AS02R , 4J100AS03R , 4J100AS15R , 4J100BA03R , 4J100BA04R , 4J100BA05R , 4J100BA06R , 4J100BA15R , 4J100BA16P , 4J100BA16R , 4J100BA20R , 4J100BA21P , 4J100BB07Q , 4J100BB18Q , 4J100BC04R , 4J100BC12R , 4J100BC28R , 4J100BC43P , 4J100BC43Q , 4J100BC43R , 4J100BC53Q , 4J100BC54R , 4J100BC55R , 4J100BC66R , 4J100CA05 , 4J100DA01 , 4J100DA04 , 4J100JA01 , 4J100JA33 , 4J100JA44

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