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J-GLOBAL ID：200903016642497340

円形状輪郭測定方法及びシステム

Inventor： 門脇 聰一 ,  小島 司 ,  梅田 幸蔵
Applicant, Patent owner： 株式会社ミツトヨ
Agent (1)： 伊丹 勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997283961
Publication number (International publication number)：1999118472
Application date： Oct. 16, 1997
Publication date： Apr. 30, 1999
Summary：

【要約】【課題】 ワークのアライメント誤差及び測定時の動径誤差をキャンセルして定量的な輪郭照合を可能にする。【解決手段】 測定対象の円形状輪郭を測定する円形状輪郭測定手段によって測定基準半径からの偏差として得られた測定データと、設計基準半径からの偏差で与えられた設計データとに基づいて、円形状輪郭を測定する際に、測定データから測定データの近似曲線を算出し(S11)、設計データに対して算出した測定データの近似曲線との間の平行移動量、回転移動量及び設計基準半径方向の誤差に基づくベストフィットパラメータV,Θ,ΔRを算出したのち、この算出されたベストフィットパラメータV,Θ,ΔRに基づいて設計データに対する測定データの輪郭照合処理を実行する。

Claim (excerpt)：

測定対象の円形状輪郭を測定する円形状輪郭測定手段と、この測定手段によって測定基準半径からの偏差として得られた測定データと、設計基準半径からの偏差で与えられた設計データとに基づいて、測定輪郭形状と設計輪郭形状との間の定量的な輪郭照合評価のための処理を実行する演算処理手段とを備え、前記演算処理手段は、前記測定データから当該測定データの近似曲線を算出し、前記設計データに対して前記算出した測定データの近似曲線との間の平行移動量、回転移動量及び設計基準半径方向の誤差に基づくベストフィットパラメータを算出するベストフィット処理手段と、このベストフィット処理手段で算出されたベストフィットパラメータに基づいて設計データに対する測定データの輪郭照合処理を実行する輪郭照合処理手段とを備えたことを特徴とする円形状輪郭測定システム。