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J-GLOBAL ID：200903016647328627

基体温度測定方法

Inventor： 岸本 里志 ,  島村 英昭 ,  小林 秀 ,  米岡 雄二
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996203408
Publication number (International publication number)：1998048051
Application date： Aug. 01, 1996
Publication date： Feb. 20, 1998
Summary：

【要約】【課題】ウェハ表面に反射して導光路に入射する迷光が放射温度計へ到達することを防ぐ。【解決手段】ウェハ1と放射温度計7間の導光路に内壁が黒体で構成された部分5を設け、迷光を黒体部5に吸収させる。

Claim (excerpt)：

測定波長の光を全反射する内壁によって、基体表面からの赤外線を放射温度計に伝える導光路を備え、前記内壁の一部を反射率が大略ゼロの黒体で構成することによって前記導光路の開口数を制限することを特徴とする基体温度測定方法。