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J-GLOBAL ID：200903016670648000

ITO焼結体の製造方法

Inventor： 山本 和明 ,  小川 展弘 ,  毛利 隆
Applicant, Patent owner： 東ソー株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992336161
Publication number (International publication number)：1994183731
Application date： Dec. 16, 1992
Publication date： Jul. 05, 1994
Summary：

【要約】【目的】【構成】 BET表面積が3m2/g未満の酸化錫粉末と、酸化インジウム粉末とを混合、成形、焼結してなるITO焼結体の製造方法。【効果】 常圧焼結で焼結密度6.5g/cm3以上の高密度ITO焼結体を製造することが可能であり、この焼結体をスパッタリングターゲット材として使用すれば優れたスパッタリング特性を有するものとなる。

Claim (excerpt)：

BET表面積が3m2/g未満の酸化錫粉末と、酸化インジウム粉末とを混合、成形、焼結することを特徴とするITO焼結体の製造方法。

IPC (2)：

C01G 15/00 ,  C04B 35/00