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J-GLOBAL ID：200903016684559779
焦点調整装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995226507
Publication number (International publication number)：1997072714
Application date： Sep. 04, 1995
Publication date： Mar. 18, 1997
Summary：
【要約】【課題】 L/Sパターンなど特別な部品を要することなく、被読取物そのものを利用して容易にしかも精度よく撮像手段の焦点を合わせることができる焦点調整装置を提供する。【解決手段】 CCDセンサ4を走査の方向に沿ってかつ同CCDセンサ4の各々の光電変換素子4a間の1/Nの距離ずつ相対的に(N-1)回位置変化させ、その移動ごとにフォトマスク3上のパターンのエッジ部の画像を読取ってN枚分の画像を得、そのN枚分の画像を合成し、その合成画像の濃度変化からパターンのエッジ部の傾きを検出する。一方、CCDセンサ4の焦点の調整を繰返し、その調整の実行ごとに上記読取り、合成、および検出を行ない、調整の実行ごとに得られる検出結果(傾き)を相互に比較することで、CCDセンサ4の合焦点位置を判定する。
Claim (excerpt)：
複数の光電変換素子を配列してなる撮像手段を備え、所定のパターンを有する被読取物上の画像を前記撮像手段で光学的に走査して読取る装置において、前記撮像手段を前記走査の方向に沿ってかつ同撮像手段における各々の光電変換素子間の光電検出単位長の1/N(Nは自然数)の距離ずつ相対的に(N-1)回位置変化させ、その移動ごとに前記パターンのエッジ部の画像を読取らせる読取手段と、この読取手段で読取られるN枚分の画像を合成する合成手段と、この合成手段で合成される画像の濃度変化から前記パターンのエッジ部の傾きを検出する検出手段と、前記撮像手段の焦点を理論上の合焦点位置に調整した後、この位置の近傍を所定の移動単位で調整を繰返し実行しながら、その実行ごとに前記読取手段、前記合成手段、および前記検出手段を作動せしめる制御手段と、前記調整の実行ごとに得られる前記検出手段の検出結果を相互に比較し、その比較結果のうち前記エッジ部の傾きが最大となる位置を前記撮像手段の合焦点位置と判定し、前記制御手段により、この合焦点位置への前記撮像手段の焦点の調整を実行する判定・実行手段と、を具備したことを特徴とする焦点調整装置。
IPC (2)：
FI (2)：
G01B 11/00 H
, G01B 11/30 Z
