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J-GLOBAL ID：200903016692309960

現像方法及びウエハ揺動装置

Inventor： 関口 敦
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 船橋 國則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995036520
Publication number (International publication number)：1996236421
Application date： Feb. 24, 1995
Publication date： Sep. 13, 1996
Summary：

【要約】【目的】 ウエハ面内の現像性を均一に保つことができる現像方法及びウエハ揺動装置を提供する。【構成】 ウエハ10の表面10a上の全域に現像液11を供給する。現像液11をウエハ10の表面10a上に保ちながら、ウエハ10を揺動させる。この際、ウエハ10を傾けることによって最も低くなる高さ位置hにウエハ10の周縁上の各点が順次移動するようにウエハ10を揺動させる。これによって、ウエハ10の表面10a上の全域で現像液11を移動させ、現像液の温度と現像液中の反応生成物濃度との分布を一定に保つ。

Claim (excerpt)：

ウエハ表面のレジスト膜を現像する方法であって、ウエハ表面の全域に現像液を供給する工程と、前記現像液を前記ウエハの表面上に保ちながら、当該ウエハを揺動させる工程とを行うことを特徴とする現像方法。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/30 502 ,  H01L 21/68

FI (3)：

H01L 21/30 569 F ,  G03F 7/30 502 ,  H01L 21/68 N