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J-GLOBAL ID：200903016717593463

研磨用組成物および研磨方法

Inventor： 久保 昌昭 ,  西川 康二 ,  丸山 伸二
Applicant, Patent owner： 株式会社フジミインコーポレーテッド
Agent (1)： 佐々木 宗治 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994077595
Publication number (International publication number)：1995278527
Application date： Apr. 15, 1994
Publication date： Oct. 24, 1995
Summary：

【要約】【目的】 研磨速度が向上し研磨面の品質も優れた研磨用組成物および研磨方法をうること。【構成】 水酸化アルミニウムを焼成して得られる板状アルミナ単結晶焼結体を粉砕、分級して得られる板状アルミナ単結晶粉体からなる市販の研磨用砥粒に、この研磨用砥粒と同様の方法で別途分級調整され、平均粒径が前記研磨用砥粒の平均粒径の1.3倍〜2.3倍の範囲の板状アルミナ単結晶粉体を添加したもの。

Claim (excerpt)：

(a)水酸化アルミニウムを焼成して得られる板状アルミナ単結晶焼結体を粉砕・分級して得られる板状アルミナ単結晶粉体からなる市販の研磨用砥粒に、(b)上記(a)と同様の方法で別途分級調整された板状アルミナ単結晶粉体であって、平均粒径が(a)の平均粒径の1.3倍〜2.3倍の範囲のものを添加してなる研磨用組成物。

IPC (2)：

C09K 3/14 550 ,  B24D 3/00 320

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

• 特開平1-304174
  
• 特開平1-109082
  
• 特開平1-306181
  
• 特開昭55-071697
  

Cited by examiner (4)

• 特開平1-304174
  
• 特開平1-109082
  
• 特開平1-306181
  
• 特開昭55-071697