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J-GLOBAL ID：200903016739223856
自立型走査吸着機構
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
古澤 俊明 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993026237
Publication number (International publication number)：1994218679
Application date： Jan. 21, 1993
Publication date： Aug. 09, 1994
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】行動範囲の制限が少なく、負圧発生部で発生する負圧の伝送効率の良い壁面歩行装置である。【構成】複数の吸盤4に順次負圧を供給して吸着力を発生せしめる吸着部1と、この吸着部1に負圧を供給するダイヤフラム真空ポンプ8とを一体に構成する。また、具体的には、ロッド11と偏芯クランク軸10を介してダイアフラム真空ポンプ8をモータ14に結合し、このダイアフラム真空ポンプ8の吸気側をマニホールドチャンバー3に結合し、常閉の弁体5を介してこのマニホールドチャンバー3を複数の吸盤4に結合し、マニホールドチャンバー3内に前記弁体5を順次開放・閉鎖するカム7を設け、このカム7の駆動源として前記モータ14を結合する。
Claim (excerpt)：
複数の吸盤に順次負圧を供給して吸着力を発生せしめる吸着部と、この吸着部に負圧を供給する真空ポンプとを一体に構成したことを特徴とする自立型走査吸着機構。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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