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J-GLOBAL ID：200903016805007779

結晶性金属酸化物の形成方法

Inventor： 中野 勝之 ,  大渕 英子 ,  橋村 正之 ,  下山 正
Applicant, Patent owner： 株式会社荏原製作所
Agent (1)： 渡邉 勇 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996351934
Publication number (International publication number)：1998167728
Application date： Dec. 11, 1996
Publication date： Jun. 23, 1998
Summary：

【要約】【課題】 基材上に形成する場合に耐熱性の小さい適宜の素材を用いることができ、しかも、他の物質を混在させずに純度の高い結晶性の金属酸化物を形成することができる方法を提供する。【解決手段】 金属酸化物ゾルに過酸化水素水を加えて金属酸化物の過酸化水素水溶液を作成する工程と、過酸化水素水溶液を200°C以下の温度で少なくとも乾燥するまで放置する工程とを含むことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

金属酸化物ゾルに過酸化水素水を加えて該金属酸化物の過酸化水素水溶液を作成する工程と、前記過酸化水素水溶液を200°C以下の温度で少なくとも乾燥するまで放置する工程とを含むことを特徴とする結晶性金属酸化物の形成方法。

IPC (3)：

C01G 23/053 ,  C01B 13/34 ,  C03C 17/25

FI (3)：

C01G 23/053 ,  C01B 13/34 ,  C03C 17/25