Pat

J-GLOBAL ID：200903016827780420

走査型露光装置

Inventor： 佐伯 和明 ,  柳原 政光 ,  楢木 剛
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 田辺 恵基
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993218132
Publication number (International publication number)：1995057985
Application date： Aug. 09, 1993
Publication date： Mar. 03, 1995
Summary：

【要約】【目的】本発明は、従来に比してスループツトの高い走査型露光装置を実現する。【構成】原板10と感光基板12を同期して移動させ、原板10の像を感光基板12上に転写する方式の走査型露光装置において、同期移動される原板10と感光基板12の加減速中に照明領域設定手段21を駆動して照明領域ARを変更させる。これにより原板10と感光基板12とが等速移動していない加減速期間も露光に利用することができる。この結果、露光に要する時間が短縮され、スループツトが一段と向上されることになる。

Claim (excerpt)：

光束を射出する照明光学系と、該照明光学系中に配置され、前記光束の原板に対する照明領域を設定する照明領域設定手段と、前記光束の照射中に前記照明領域と前記原板とを相対移動する駆動手段とを備え、前記原板の像を、前記原板と同期して移動する感光基板上に転写する走査型露光装置において、前記駆動手段による前記相対移動の加減速中に前記照明領域設定手段を駆動して前記照明領域を変更する照明領域変更手段を備え、前記加減速中に、前記原板の像を前記感光基板上に転写することを特徴とする走査型露光装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平2-065222
  
• 特開平4-196513
  
• 特開平3-120712
  
• 特開平1-243519